智能传感器是基于人工智能、信息处理技术实现的具有分析、判断,量程自动转换,漂移、非线性和频率响应等自动补偿,对环境影响 量的自适应,自学习以及超限报警、故障诊断等功能的传感器。
与传统传感器相比,智能传感器精度高、高可靠性与高稳定性、高信噪比与高分辨率、自适应性强、 性能价格比高等特点。
实现有智能传感器有三种途径:
(1)集成化实现
即采用微机械加工技术和大规模集成电路工艺,利用半导体材料硅作为基本材料来制作敏感元件,将信号调理电路、微处理器单元等集成在一块芯片上构成的。
(2)非集成化实现
是将传统传感器(采用非集成化工艺制作的传感器,仅具有获取信号的功能)、信号调理电路、带数字总线接口的微处理器合为- -体 而构成的一-个智能传感器系统。
(3)混合实现
混合实现是指根据需要与可能,将系统各个集成化环节,如敏感单元、信号调理电路、微处理器单元、数字总线接口等,以不同的组合方式集成在几块芯片上,并装在一个外壳里。
智能传感器的设计一般要涉及以下几个方面的内容及相应的流程:
(1)智能压力传感器的结构设计
(2)敏感元件设计
(3)传感器工艺设计
(4)软件设计
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